選購真空泵應注意以下幾點(diǎn)：

1、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響。若工藝過(guò)程不允許，應選擇無(wú)振

動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。

2、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無(wú)顆?；覊m，有無(wú)腐蝕性等。選擇真空

泵時(shí)，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐

蝕性氣體，應該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。

3、真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。

4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿(mǎn)足抽氣

要求，需要幾種泵組合起來(lái)，互相補充才能滿(mǎn)足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，

但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，(或二極型非對稱(chēng)陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速，

兩者組合起來(lái)，便會(huì )使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作

，需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來(lái)使用。

選購真空泵應注意以下幾點(diǎn)：

5、真空泵排出來(lái)的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無(wú)油真空泵

，或者把油蒸氣排到室外。

6、真空泵的工作壓強應該滿(mǎn)足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如：某真空干燥工藝

要求10mmHg的工作真空度，選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg，能達到

1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設備工作真空度半個(gè)到一個(gè)數量級。

7、真空泵的價(jià)格、運轉及維修費用。

選購真空泵應注意以下幾點(diǎn)：